文献

J-GLOBAL ID：201202265745094040   整理番号：12A0597571

ウエハ表面のナノレベル欠陥検出向け接触型マイクロ熱検知センサの原理検討

著者 (4件)： 清水裕樹 (東北大) ,  LU Wenjian (東北大) ,  東豊大 (東北大) ,  GAO Wei (東北大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2012  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.F23  発行年： 2012年03月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 次世代の半導体・LEDウェハ表面に要求される微小欠陥検出実現のため,熱検知型マイクロ接触センサによる,全く新しいウェハ上微小欠陥検出のコンセプトを提案する。提案の手法では,軽微な接触によって発生する極小摩擦熱を,熱検知素子抵抗値の変化に変換してウェハ表面上の微小突起を検出する。本報では,簡易モデル及びFEMモデルによる原理検証計算により提案の手法の実現可能性について検討した結果について述べる。(著者抄録)

シソーラス用語： *ウエハ【IC】 ,  *故障検出 ,  *触覚センサ ,  *摩擦熱 ,  *隆起 ,  モデル ,  解析モデル
準シソーラス用語： FEMモデル ,  簡易モデル ,  接触センサ ,  *突起

分類 (2件)： リモートセンシング一般  (AD04000L) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： ウエハ ,  欠陥検出 ,  検知センサ ,  原理