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J-GLOBAL ID:201202265969389399   整理番号:12A0650412

光感応性ニオブ酸インジウムゲル膜の作製とパターニング特性

著者 (2件):
資料名:
巻: 92nd  号:ページ: 924  発行年: 2012年03月09日 
JST資料番号: S0493A  ISSN: 0285-7626  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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β-ジケトンの化学修飾を用いて光感応性ニオブ酸インジウムゲル膜を作製し,そのパターニング特性を検討した。作製したゲル膜は光感応性を示すことがわかり,それを利用して約20μmのパターンを作製することができた。(著者抄録)
シソーラス用語:
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分類 (2件):
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
反応操作(単位反応)  ,  塩基,金属酸化物 

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