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J-GLOBAL ID：201202282135505644   整理番号：12A0597579

微細形状測定のための非接触静電気力走査型プローブ顕微鏡に関する研究

著者 (5件)： 後藤成晶 (東北大) ,  細渕啓一郎 (東北大) ,  伊東聡 (東北大) ,  清水裕樹 (東北大) ,  GAO Wei (東北大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2012  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.F39  発行年： 2012年03月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究では微細形状測定のための非接触静電気力顕微鏡を提案し,その開発を目的とする。水晶振動子に接着した探針に電荷を与え,探針と試料表面との間に働く静電気力を測定しながら試料表面を非接触で倣い走査する。20nm以上の探針・試料間距離を維持する完全非接触走査で,静電気力に影響を与える試料表面電荷分布等のパラメータをキャンセルしつつ探針・試料間の絶対距離を算出することにより表面形状を定量的に取得する。(著者抄録)

シソーラス用語： *形態 ,  *形状測定 ,  *非接触測定 ,  *力顕微鏡 ,  プローブ ,  パラメータ ,  表面電荷 ,  電荷分布
準シソーラス用語： *静電気力顕微鏡 ,  *微細形状 ,  表面形状

分類 (2件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B)

タイトルに関連する用語 (5件)： 微細形状 ,  非接触 ,  静電気力 ,  走査型プローブ顕微鏡 ,  研究