γ-Al2O3/Si基板上のエピタキシャルPb(Zr,Ti)O3薄膜を用いた圧電微細加工超音波変換器の振動解析と透過特性

AKAI Daisuke; OZAKI Katsuya; NUMATA Yasuyuki; SUZUKI Keisuke; OKADA Nagaya; ISHIDA Makoto

文献

J-GLOBAL ID：201202294202045350 整理番号：12A1756864

γ-Al₂O₃/Si基板上のエピタキシャルPb(Zr,Ti)O₃薄膜を用いた圧電微細加工超音波変換器の振動解析と透過特性

Vibration Analysis and Transmission Characteristics of Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers Using Epitaxial Pb(Zr,Ti)O₃ Thin Films on γ-Al₂O₃/Si Substrate

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著者 (6件)： , , , , ,
資料名：
巻： 51 号： 11,Issue 2 ページ： 11PA04.1-11PA04.4 発行年： 2012年11月25日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

低電圧(<12V)動作圧電微細加工超音波変換器(pMUT)とSi-LSIとの集積が望まれる。これを実現するには,圧電特性の改善と共に,変換器の振動モードの解明が必要である。本研究では,超音波を効果的に放射するためにγ-Al₂O₃/Si基板上のエピタキシャルPb(Zr,Ti)O₃薄膜を用いて,pMUTによる振動モードと透過超音波を実験により調べた。直径100μmの円形pMUTで,1~10MHzの五種類の共鳴振動モードが空気中で現れた。(0,1)モードの周波数は2.2MHzで,このモードは超音波を非常に効果的放射した。上記振動モードを用い,10Vp-p以下の電圧を印加して,水中での超音波透過を達成した。これらの結果はSi素子との高周波pMUTの集積可能性を示す。(翻訳著者抄録)

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音響変換器,その他の機器

引用文献 (24件)：

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