研究者
J-GLOBAL ID:201301044339661489   更新日: 2024年02月11日

福田 明

フクダ アキラ | Fukuda Akira
所属機関・部署:
職名: 教授
ホームページURL (1件): https://youtu.be/sq0_Dp9TTMc
研究分野 (2件): 材料加工、組織制御 ,  加工学、生産工学
研究キーワード (1件): 化学的機械研磨
競争的資金等の研究課題 (5件):
  • 2018 - 2023 ミクロなスラリー循環流れの制御および好適化による研磨能率の向上
  • 2020 - CMPドレッシングシミュレーションの開発
  • 2012 - 2020 汎用流れ解析ソフトを利用した研磨シミュレーション技術の開発
  • 2015 - 2018 ミクロスケール・スラリー流れ可視化観察による研磨メカニズムの解明
  • 2013 - 2014 CMPにおけるウェーハと研磨パッドとの間のスラリー流れに関する研究
論文 (14件):
MISC (4件):
  • 福田 明. CMPスラリー流れの可視化技術. 月刊トライボロジー. 2023. 435. 44-47
  • 福田 明. 特集 砥石や研磨パッドの成形とその効果 CMPにおけるミクロなスラリー循環流れと研磨レートとの関係. 砥粒加工学会誌. 2023. 67. 2. 79-82
  • 福田 明. 拡大パッド模型を使ったCMPスラリー流れの可視化. 月刊トライボロジー. 2020. 399. 44-47
  • 土肥 俊郎, 檜山 浩国, 福田 明, 黒河 周平. 半導体デバイスと平坦化加工技術の動向と今後の展開. 精密工学会誌 = Journal of the Japan Society of Precision Engineering. 2007. 73. 7. 745-750
特許 (31件):
書籍 (1件):
  • 先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術
    技術情報協会 2023 ISBN:9784861049828
講演・口頭発表等 (48件):
  • ガラスCMPにおける研磨パッド表面性状パラメータと研磨能率との関係 -主成分分析を用いた評価の可能性-
    (2023年度精密工学会 中国四国支部・九州支部共催 広島地方講演会 2023)
  • ガラス研磨における研磨レートとスラリー循環流れの関係
    (2023年度精密工学会 中国四国支部・九州支部共催 広島地方講演会 2023)
  • Development of Simulation Method for Material Removal Rate Distribution Considering Slurry Polishing Ability
    (The 18th International Conference on Planarization/CMP Technology 2023 2023)
  • ガラス研磨における研磨レートとスラリー流れの関係
    (精密工学会大会学術講演会講演論文集 2021)
  • スラリー研磨能力に着目した研磨レート分布シミュレーション技術の開発(第4報)温度分布解析結果の取り込み
    (精密工学会大会学術講演会講演論文集 2021)
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学歴 (4件):
  • 2007 - 2010 九州大学大学院 工学府博士後期課程 知能機械システム専攻
  • 1996 - 1998 豊橋技術科学大学大学院 工学研究科修士課程 機械システム工学専攻
  • 1994 - 1996 豊橋技術科学大学 工学部 エネルギー工学課程(3年次編入学)
  • - 1994 徳山工業高等専門学校 機械電気工学科
学位 (1件):
  • 博士(工学) (九州大学)
経歴 (5件):
  • 2021/04 - 現在 徳山工業高等専門学校 機械電気工学科 教授
  • 2012/08 - 2021/03 徳山工業高等専門学校 機械電気工学科 准教授
  • 2009/04 - 2012/07 株式会社荏原製作所 精密・電子事業カンパニー
  • 1999/04 - 2009/03 株式会社荏原総合研究所
  • 1998/04 - 1999/03 株式会社荏原製作所
委員歴 (5件):
  • 2001 - 現在 精密工学会 プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会 委員
  • 2001 - 2017 精密工学会 プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会 ホームページ検討部会 委員
  • 2012 - 2014 日本機械学会 校閲委員
  • 2011 - 2012 日本機械学会 関東支部 商議員
  • 2006 - 2008 電子情報技術産業協会(JEITA) 次世代ウェーハ技術小委員会 委員
受賞 (2件):
  • 2006/07 - 株式会社荏原総合研究所 総研賞
  • 2001/05 - International Conference on Fundamentals of Adsorption 7 Best Poster Award
所属学会 (4件):
日本液体微粒化学会 ,  砥粒加工学会 ,  精密工学会 ,  日本機械学会
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