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J-GLOBAL ID:201302218562571230   整理番号:13A1656678

櫛歯状碍子被覆電極を用いた誘電体バリア放電により発生した活性種の生成量評価

Evaluation of active species generated by dielectric barrier discharge with insulator-coated comb-electrodes
著者 (7件):
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巻: FTE-13  号: 20-25.27-34  ページ: 55-58  発行年: 2013年09月26日 
JST資料番号: Z0969A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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大気圧プラズマにおいて,活性種を多量に生成するために必要な条件が明らかではない。本論文では,導入ガス種の流量に注目し,活性種が多量に生成される条件を櫛歯状碍子被覆電極により発生した大気圧プラズマを用いて検討した。活性種としてオゾンおよびOHラジカルを評価した。オゾンは,少量の酸素ガスを添加することで高密度のオゾンを生成することができ,電極枚数を増加させることでオゾンの生成量も増加した。OHラジカルは,酸素ガスの投入で発光スペクトルは減少するものの,流量を増やすことで,その減少を抑えることができた。これらの結果により,酸素ガス導入時には低流量側ではオゾンが多く生成され,高流量側ではOHラジカルが多く生成されることがわかった。
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分類 (1件):
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プラズマ相互作用一般 
引用文献 (8件):

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