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J-GLOBAL ID：201302253809840379   整理番号：13A1092743

ものづくりライセンス技術の実用化 3次元微細加工用高速高機能工具サーボ制御装置の開発

著者 (5件)： 伊東聡 (東北大 大学院工学研究科) ,  CHEN Yuanliu (東北大 大学院工学研究科) ,  NOH Young-Jin (東北大 大学院工学研究科) ,  清水裕樹 (東北大 大学院工学研究科) ,  GAO Wei (東北大 大学院工学研究科)
資料名： ケミカルエンジニヤリング  (Chemical Engineering (Tokyo))
巻： 58  号： 7  ページ： 515-523  発行年： 2013年07月01日 
JST資料番号： F0134A  ISSN： 0387-1037  CODEN： CMNGA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 代表的な超精密機械加工には超精密旋盤を用いた単結晶ダイヤモンド切削工具による加工法がある。非常に鋭利な切れ刃を有するダイヤモンド切削は仕上がり面が良いため,微細表面形状の創成に適した特徴を有している。さらにダイヤモンド切削工具を高速制御する高速工具制御装置(FTC)は大面積にわたって3次元微細表面形状を高い精度で加工することが可能である。FTCシステムによりロール金型表面に複雑なパターンを作製し,フィルム上にパターンを転写するroll-to-roll加工は3次元微細形状を短時間で大面積に創成できるため光学素子等の生産において有効な手法として注目されている。本研究ではそれらの問題を解決できる高感度,高剛性の圧電型力センサを組み込んだ新しいFTCシステムの開発に取り組んだ。本報ではFS-FTCと名付けたシステムの構成およびその基本特性について紹介した。高速工具サーボ制御装置,加工力のインプロセス計測などについて解説した。

シソーラス用語： ライセンス ,  実用化 ,  三次元 ,  *微細加工 ,  高速化 ,  作業工具 ,  *サーボ制御 ,  技術開発 ,  ダイヤモンド工具 ,  単結晶 ,  切削工具 ,  制御装置 ,  生産方式 ,  ロール ,  加工力 ,  インプロセス測定
準シソーラス用語： インプロセス計測 ,  ロール・ツー・ロール方式 ,  *加工工具 ,  高機能化 ,  *単結晶ダイヤモンド工具 ,  物作り

分類 (2件)： 切削一般  (QC02010V) ,  制御機器一般  (IC02010N)

タイトルに関連する用語 (7件)： ものづくり ,  ライセンス ,  実用化 ,  3次元 ,  微細加工 ,  工具 ,  開発