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J-GLOBAL ID：201302257159028106   整理番号：13A1582762

レーザ割断における強制冷却時の基板拘束条件が熱応力に及ぼす影響

著者 (4件)： 千葉明 (千葉大) ,  松坂壮太 (千葉大) ,  比田井洋史 (千葉大) ,  森田昇 (千葉大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2013  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.F07  発行年： 2013年08月28日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 慣性力を考慮した一次元熱弾性モデルを用いて強制冷却時における基板拘束条件の効果を検討した。一次元非定常熱伝導方程式と熱弾性波動方程式を有限差分法で離散化した。数値計算は反復法のガウスザイデル法で実施した。強制冷却に関しては噴射ノズルからの冷却水による強制対流に基づく熱伝達係数を適用した。基板拘束条件は両端自由端と両端拘束を適用した。両端拘束よりも両端自由が強制冷却の効果による引張熱応力の作用が大きい。(著者抄録)

シソーラス用語： 基板 ,  電気装置部品 ,  切断 ,  レーザ加工 ,  冷却 ,  *束縛条件 ,  *熱応力 ,  モデル ,  熱弾性 ,  熱伝導方程式 ,  波動方程式 ,  差分法 ,  数値計算 ,  冷却水 ,  強制対流
準シソーラス用語： *ガラス基板 ,  割断法 ,  *レーザ割断 ,  強制冷却 ,  熱弾性モデル ,  有限差分法

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： レーザ ,  強制冷却 ,  拘束条件 ,  熱応力