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文献
J-GLOBAL ID:201302265592761759   整理番号:13A0487633

FFM機構によるナノスケール機械加工とマスクレス3次元微細構造形成への応用

著者 (2件):
資料名:
巻: 51  号:ページ: 26-30  発行年: 2013年02月20日 
JST資料番号: S0624A  ISSN: 0913-7289  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 文献レビュー  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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走査型プローブ顕微鏡の一種である摩擦力顕微鏡(FFM)機構によるナノスケール機械加工(ナノ加工)に関する研究を行っている。本論文では,FFM機構を利用したナノ加工技術について紹介した。ナノ加工技術の原理,単結晶シリコンのナノ加工特性などのナノスケール機械加工の特性,トライボナノリソグラフイーと化学エッチングを併用した三次元微細構造形成,液中TNLによる三次元微細構造形成などを説明した。メカニズムの詳細解明とともに高精細化の検討が重要となる。
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分類 (3件):
分類
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固体デバイス製造技術一般  ,  工作一般  ,  電子顕微鏡,イオン顕微鏡 
引用文献 (16件):
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