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J-GLOBAL ID：201302266305947169   整理番号：13A1720318

表面処理を施したダイヤモンド薄膜におけるp型表面伝導層のコンダクタンスとNO₂に対する応答速度

著者 (3件)： 春田憲一 (東海大 大学院) ,  木村英樹 (東海大 工) ,  千葉雅史 (東海大 開発工)
資料名： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 74th  ページ： ROMBUNNO.16P-A2-2  発行年： 2013年08月31日 
JST資料番号： Y0055B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *ダイヤモンド ,  *半導体薄膜 ,  *電気伝導 ,  P型半導体 ,  二酸化窒素 ,  *表面処理 ,  *ガスセンサ ,  *大気汚染 ,  *化学蒸着
準シソーラス用語： ダイヤモンド薄膜 ,  *表面伝導

分類 (5件)： 半導体薄膜  (BK14040E) ,  計測機器一般  (AD02000X) ,  半導体結晶の電気伝導  (BM03043X) ,  大気質調査測定一般  (SB03040I) ,  半導体の結晶成長  (BK13040X)

タイトルに関連する用語 (6件)： 表面処理 ,  ダイヤモンド薄膜 ,  表面伝導 ,  コンダクタンス ,  NO2 ,  応答速度