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文献
J-GLOBAL ID:201302274886455159   整理番号:13A1299153

光三次元計測を利用する!高精度平面形状計測

著者 (2件):
資料名:
号: 380  ページ: 71-77  発行年: 2013年08月10日 
JST資料番号: Y0019A  ISSN: 0286-9659  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
抄録/ポイント:
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次世代リソグラフィとされるEUVリソグラフィ技術では,サブナノメートルレベルの標準不確かさで,また,ウェハの大口径化に対応した平面度を測定する技術が必要とされる。産業技術総合研究所計量標準総合センタ(NMIJ)ではFizeru干渉計を用い300mmの範囲に対して10nmの測定不確かさの平面度を標準供給しているが,上述の高精度化・大口径化の要求には不十分である。本稿では,Fizeru干渉計を用いた高精度平面度測定法の技術と現状における問題点について記述し,ついで,新た高精度の平面度測定技術として,参照平面を用いない3種の局部傾斜角測定法,1)オートコリメータを用いたシステム,2)LTP(Long Trace Profiler)と呼ばれるオートコリメータを用いないシステム,3)NMIJが開発したシステム,を紹介した。
シソーラス用語:
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分類 (2件):
分類
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長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  ,  固体デバイス製造技術一般 
タイトルに関連する用語 (3件):
タイトルに関連する用語
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