特許
J-GLOBAL ID：201303019622200865
磁気記録媒体の製造方法および磁気記録再生装置
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (4件)：
志賀 正武
, 鈴木 三義
, 荒 則彦
, 三國 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-039218
公開番号（公開出願番号）：特開2013-175254
出願日： 2012年02月24日
公開日（公表日）： 2013年09月05日
要約：
【課題】熱式インプリントに伴う軟磁性裏打ち層の歪みを防止できるとともに、軟磁性合金膜と非磁性カップリング膜との界面部での元素の拡散を防止でき、優れた磁気特性を有する磁気記録媒体を製造できる磁気記録媒体の製造方法を提供する。【解決手段】非磁性基板1の上に、非磁性カップリング膜4を挟んで積層されている反強磁性結合された複数の軟磁性合金膜3、5を有する軟磁性裏打ち層11を形成する裏打ち層形成工程と、軟磁性裏打ち層11の上に、熱式インプリント法を用いて磁気的に分離された磁気記録パターン8aを有する垂直磁気記録層8を形成するパターニング工程とを備え、裏打ち層形成工程において、軟磁性合金膜3、5と非磁性カップリング膜4との間に歪み緩和膜A、Bを設ける磁気記録媒体の製造方法とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
非磁性基板の上に、非磁性カップリング膜を挟んで積層されている反強磁性結合された複数の軟磁性合金膜を有する軟磁性裏打ち層を形成する裏打ち層形成工程と、
前記軟磁性裏打ち層の上に、熱式インプリント法を用いて磁気的に分離された磁気記録パターンを有する垂直磁気記録層を形成するパターニング工程とを備える磁気記録媒体の製造方法であって、
前記裏打ち層形成工程において、前記軟磁性合金膜と前記非磁性カップリング膜との間に歪み緩和膜を設けることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
IPC (3件)：
G11B 5/84
, G11B 5/667
, G11B 5/738
G11B5/84 Z
, G11B5/667
, G11B5/738
5D006BB08
, 5D006CA03
, 5D006CA06
, 5D006DA03
, 5D006DA06
, 5D006DA08
, 5D006FA09
, 5D112AA03
, 5D112AA04
, 5D112AA05
, 5D112AA16
, 5D112AA20
, 5D112AA24
, 5D112GA00
