特許
J-GLOBAL ID：201303022905283040
光軸位置補正装置およびイメージング装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
三好 秀和
, 工藤 理恵
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-277921
公開番号（公開出願番号）：特開2013-130397
出願日： 2011年12月20日
公開日（公表日）： 2013年07月04日
要約：
【課題】ビームの光軸の位置を補正できる光軸位置補正装置を提供する。【解決手段】光軸位置補正装置11は、光源2からのビームを反射させる第1ミラー111と、反射したビームの一部を反射させる第1ビームスプリッタ112と、通過したビームの光軸の位置を検出する第1検出器113と、反射したビームを反射させる第2ミラー114と、反射したビームの一部を反射させる第2ビームスプリッタ115と、通過したビームの光軸の位置を検出する第2検出器116と、第1、第2ミラー111、114の向きを制御するフィードバック回路117とを備え、第1検出器113、第2検出器116で検出されるビームの位置が予め定められた位置になった場合には、第2ビームスプリッタ115で反射したビームの光軸の位置が予め定められた位置に一致するように構成されている。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
光源から出力されるビームを反射させる第1ミラーと、
前記第1ミラーで反射したビームの一部を反射し一部を通過させる第1ビームスプリッタと、
前記第1ビームスプリッタを通過したビームの光軸の位置を検出する第1検出器と、
前記第1ビームスプリッタで反射したビームを反射させる第2ミラーと、
前記第2ミラーで反射したビームの一部を反射し一部を通過させる第2ビームスプリッタと、
前記第2ビームスプリッタを通過したビームの光軸の位置を検出する第2検出器と、
前記第1、第2検出器で検出されるビームの位置が予め定められた位置に一致するように前記第1、第2ミラーの向きを制御するフィードバック回路と
を備え、
前記第1、第2検出器で検出されるビームの位置が予め定められた位置になった場合には、前記第2ビームスプリッタで反射したビームの光軸の位置が予め定められた位置に一致するように構成されている
ことを特徴とする光軸位置補正装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (24件)：
2G059AA05
, 2G059BB08
, 2G059BB09
, 2G059BB10
, 2G059BB15
, 2G059CC13
, 2G059DD12
, 2G059EE01
, 2G059EE12
, 2G059FF01
, 2G059FF04
, 2G059GG08
, 2G059HH01
, 2G059HH06
, 2G059JJ01
, 2G059JJ11
, 2G059JJ13
, 2G059JJ14
, 2G059JJ18
, 2G059JJ22
, 2G059KK09
, 2G059LL01
, 2G059MM01
, 2G059MM10
