特許
J-GLOBAL ID:201303061882765404

プラズマシンセティックジェットを用いた冷却装置

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-169119
公開番号(公開出願番号):特開2010-239165
特許番号:特許第5263701号
出願日: 2010年07月28日
公開日(公表日): 2010年10月21日
請求項(抜粋):
【請求項1】 一方の側に発熱素子が取り付けられるベースと、該ベースの他方の側から突出するように一体的に形成された複数のフィンとを有し導電性材料からなるヒートシンクを備える冷却装置において、前記複数のフィンの各々の先端の縁辺に沿って間に絶縁体を介在して電極が取り付けられ、前記電極の後端側縁辺が前記フィンの面に対して50〜120ミクロンの段差を有しており、前記電極と前記フィンとの間に交流電圧を印加してプラズマシンセティックジェット作用による前記フィンの面に沿った空気流を生ぜしめるための駆動回路を備えていることを特徴とする冷却装置。
IPC (1件):
H01L 23/467 ( 200 6.01)
FI (1件):
H01L 23/46 C
引用特許:
出願人引用 (1件)
  • 特開平3-252157
審査官引用 (1件)
  • 特開平3-252157
引用文献:
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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