赤外線吸収膜およびそれを用いた赤外線検知素子ならびにその製造方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-206300
公開番号（公開出願番号）：特開2013-068478
出願日： 2011年09月21日
公開日（公表日）： 2013年04月18日
要約：

【課題】赤外線吸収膜は、赤外線吸収効率が良いことが求められており、さらに材料や製造設備の面で、容易に製造できることが求められている。【解決手段】本発明による赤外線吸収膜9は、下地層8上に形成され、銅(Cu)が主成分である赤外線吸収膜であって、前記赤外線吸収膜の表面形状が葉状9Aで、かつ酸化されていることを特徴とする。これにより、Cuを主成分とし特別な製造設備を必要としないことから、容易に製造でき、赤外線吸収効率が良い赤外線吸収膜を作製することが可能となる。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

下地層上に形成され、銅(Cu)が主成分である赤外線吸収膜であって、前記赤外線吸収膜の表面形状が葉状で、かつ酸化されていることを特徴とする、赤外線吸収膜。

IPC (2件)：

G01J 1/02 , C09K 3/00

FI (2件)：

G01J1/02 C , C09K3/00 105

Fターム (4件)：

2G065AA04 , 2G065AB02 , 2G065BA12 , 2G065CA30

引用特許：

出願人引用 (3件)

特公昭62-001513
赤外線検出素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-102396 出願人：松下電工株式会社
特公昭61-038783

審査官引用 (3件)

特公昭62-001513
赤外線検出素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-102396 出願人：松下電工株式会社
特公昭61-038783

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