特許
J-GLOBAL ID:201303088657232516

カーボンナノチューブ電極及び当該電極を用いたセンサー

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 特許業務法人原謙三国際特許事務所
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-246073
公開番号(公開出願番号):特開2008-064724
特許番号:特許第5061342号
出願日: 2006年09月11日
公開日(公表日): 2008年03月21日
請求項(抜粋):
【請求項1】 金属表面にカーボンナノチューブを備えており、 上記カーボンナノチューブは、上記金属表面に対して、長手方向が垂直方向に設けられており、 上記カーボンナノチューブの電極を形成する際、金属電極の上に触媒をフォトレジストでパターニングし、熱化学気相成長法でカーボンナノチューブを形成することを特徴とする電極(ただし、上記カーボンナノチューブが絶縁体で覆われているものを除く)。
IPC (4件):
G01N 27/30 ( 200 6.01) ,  G01N 27/327 ( 200 6.01) ,  G01N 27/416 ( 200 6.01) ,  G01N 27/48 ( 200 6.01)
FI (7件):
G01N 27/30 B ,  G01N 27/30 357 ,  G01N 27/30 351 ,  G01N 27/30 353 F ,  G01N 27/46 301 G ,  G01N 27/46 336 M ,  G01N 27/48 Z
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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