研究者

J-GLOBAL ID：201401042903669970 更新日: 2020年08月31日

吉元健治

Yoshimoto Kenji

所属機関・部署：
論文 (32件)：

吉元健治, 吉元健治. 電子機器を支える高分子誘導自己組織化の実現に向けて. 高分子. 2018. 67. 9. 523-525
Rattanakawin Podchara, Fan Weijia, Yamago Shigeru, Yoshimoto Kenji, Ohshima Masahiro. Synthesis of Photocleavable Block Copolymers for UV Induced Foaming. JOURNAL OF PHOTOPOLYMER SCIENCE AND TECHNOLOGY. 2018. 31. 5. 647-650
Akihisa Yoshida, Kenji Yoshimoto, Masahiro Ohshima. Effect of wall potential on morphology of symmetric diblock copolymers in nanotrench. JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS. 2016. 55. 6
Kenji Yoshimoto, Akihisa Yoshida, Masahiro Ohshima, Katsuyoshi Kodera, Yoshihiro Naka, Hideki Kanai, Sachiko Kobayashi, Simon Maeda, Phubes Jiravanichsakul, Katsutoshi Kobayashi, et al. Direct Self-Assembly for Non-Periodic Designs. JOURNAL OF PHOTOPOLYMER SCIENCE AND TECHNOLOGY. 2016. 29. 5. 709-715
A. Yoshida, K. Yoshimoto, M. Ohshima, K. Kodera, Y. Naka, H. Kanai, S. Kobayashi, S. Maeda, P. Jiravanichsakul, K. Kobayashi, et al. Control of morphological defects at the boundary between the periodic and non-periodic patterns in directed self-assembly process. Proc. SPIE. 2016. 9777. 97771O

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MISC (26件)：

K. Yoshimoto, A. Chandra, R. Nakatani, T. Hayakawa, M. Takenaka, T. Azuma. Mechanism of Defect Formation in DSA Process. The 35th International Conference of Photopolymer Science and Technology. 2018
重栖拓也, 竹中幹人, 竹中幹人, 小川紘樹, 小川紘樹, 小川紘樹, 吉元健治, 吉元健治, 東司, 小寺克昌. 時分割GISAXS法によるPS-b-PMMA薄膜の自己組織化過程のその場観察. 高分子学会予稿集(CD-ROM). 2018. 67. 1. ROMBUNNO.3Pb018
T. Azuma, Y. Seino, H. Sato, Y. Kasahara, K. Kodera, K. Miyagi, M. Shiraishi, R. Matsuki, T. Kosaka, T. Himi, et al. Defect dynamics in directed self-assembly of block copolymers. SPIE Advanced Lithography, 2018. 2018
重栖拓也, 竹中幹人, 竹中幹人, 小川紘樹, 小川紘樹, 小川紘樹, 吉元健治, 吉元健治, 東司, 小寺克昌. GISAXSによるブロックコポリマーの自己組織化過程の解明. 高分子学会予稿集(CD-ROM). 2017. 66. 2. ROMBUNNO.3Z12
吉元健治, 矢野恭平, 谷口貴志, 大嶋正裕. 非溶媒誘起相分離法による高分子分離膜の形成シミュレーション. 高分子学会予稿集(CD-ROM). 2017. 66. 2. ROMBUNNO.2H04

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特許 (1件)：

Directed self-assembly of block copolymers using laser annealing

書籍 (2件)：

Microlithography: Science and Technology, 3rd Ed. (B. Smith & K. Suzuki Eds.)
CRC Press 2019
ブロック共重合体の構造設計と応用展開(竹中幹人監修)
シーエムシー出版 2018

講演・口頭発表等 (7件)：

高分子分離膜の大規模シミュレーション
(スーパーコンピュータシステム平成29年度共同研究成果報告会 2018)
Defect Dynamics in Self-Assembling Processes of Block Copolymers
(The 3rd International Symposium on DSA 2017)
シミュレーションを用いた誘導自己組織化(DSA)技術の最適化
(2016年2回極限ナノ造形・構造物性研究会 2016)
ブロックコポリマーの誘導自己組織化に関するシミュレーション
(第79回半導体集積回路技術シンポジウム 2015)
シミュレーションを用いたDSAプロセスと材料の最適化
(次世代リソグラフィ技術研究会 2014 2014)

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