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J-GLOBAL ID:201402218580644012   整理番号:14A0223730

プラズマイオン注入法によるナノカーボン粒子膜の形成とトライボロジー特性評価

著者 (5件):
資料名:
巻: 2013  号: 春  ページ: ROMBUNNO.E21  発行年: 2013年05月10日 
JST資料番号: Y0047C  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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分類 (3件):
分類
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その他の無機化合物の薄膜  ,  潤滑一般  ,  固体デバイス製造技術一般 
タイトルに関連する用語 (5件):
タイトルに関連する用語
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