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J-GLOBAL ID：201402226200578368   整理番号：14A0536122

超高感度角度センサに関する研究-測定レーザビーム径拡大に伴うレンズ収差の影響-

著者 (4件)： 村田大 (東北大) ,  清水裕樹 (東北大) ,  伊東聡 (東北大) ,  GAO Wei (東北大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2014  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.A69  発行年： 2014年03月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 超精密ステージ等の微小姿勢角計測に用いられる光学式角度センサの高感度化が求められている。筆者らはシングルセル受光素子を用いた高感度レーザ角度センサを開発してきた。測定レーザビーム径を拡大すると受光素子上での集光スポットが小径化し更なる高感度化が望める一方で,対物レンズの収差による影響が無視できなくなる。本報では,対物レンズの収差がセンサ感度に及ぼす影響を理論的・実験的に検討した結果を報告する。(著者抄録)

シソーラス用語： 高感度 ,  *角度 ,  *センサ ,  レーザビーム ,  直径 ,  *レンズ ,  収差 ,  案内装置 ,  姿勢 ,  光検出器 ,  レーザ応用 ,  光学系 ,  部品 ,  位置決め ,  直線運動

分類 (2件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  光学器械要素とその材料  (QF05020K)

タイトルに関連する用語 (7件)： 高感度 ,  角度センサ ,  研究 ,  レーザビーム ,  径拡大 ,  レンズ ,  収差