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J-GLOBAL ID：201402254038378825   整理番号：14A0718136

P(VDF/TrFE)薄膜を用いたMEMS超音波センサの開発

Development of MEMS Ultrasonic Sensor Using P(VDF/TrFE) Thin Films

著者 (4件)： 田中恒久 (大阪府産業技総研) ,  村上修一 (大阪府産業技総研) ,  宇野真由美 (大阪府産業技総研) ,  山下馨 (京都工繊大)
資料名： 電気学会フィジカルセンサ研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： PHS-14  号： 16-19.21-26  ページ： 29-33  発行年： 2014年05月27日 
JST資料番号： L2897B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本論文では作製した,圧電体材料としてP(VDF/TrFE)薄膜を使用したダイアフラム構造のMEMS超音波センサを取りあげ(ダイアフラムの支持層としてSiO₂膜を用いたセンサと使用しないセンサの2種類を作製),P(VDF/TrFE)薄膜の作製方法について解説するとともに,MEMS超音波センサの作製プロセスについて説明した。また,2種類のMEMS超音波センサの受信特性を明らかにするとともに,圧電体材料にPZT薄膜を用いたMEMS超音波センサの受信特性と比較して議論した。

シソーラス用語： *ポリフッ化ビニリデン ,  *高分子薄膜 ,  *MEMS ,  *音波センサ ,  重合体 ,  *強誘電性 ,  ダイヤフラム ,  *超音波 ,  超音波応用計測 ,  *圧電材料 ,  残留分極 ,  抗電場 ,  高感度 ,  曲げ剛性 ,  *フッ化ビニリデン-トリフルオロエチレン共重合体
準シソーラス用語： *VDF-TrFE ,  超音波センサ ,  樹脂 ,  受信感度

分類 (3件)： 音響測定  (BB03040R) ,  有機化合物の薄膜  (BK14070L) ,  強誘電体,反強誘電体,強弾性  (BM05030B)

引用文献 (14件)：

• J. Eguchi, K. Ozaki: "Development of the Autonomous Mobile Robot for Target-Searching in Urban Areas in the Tsukuba Challenge 2013", Journal of Robotics and Mechatronics, 26, 2, pp.166-176 (2014)
• 辻野照久,坪谷剛:「自動運転自動車の研究開発動向と実現への課題」,科学技術動向,1・2, pp.9-16(2013)
• 深谷友次:「自動車用センサの技術動向」,デンソーテクニカルビュー,Vol.11,No.1,pp.92-99(2006)
• K. Yamashita, H. Katata, M. Okuyama, H. Miyoshi, G. Kato, S. Aoyagi, and Y. Suzuki: "Arrayed ultrasonic microsensors with high-directivity for in -air use using PZT thin film on silicon diaphragm", Sensors and Actuators A, Phs.97-98C, 1-3, pp.302-307 (2002)
• S. Lee, T. Tanaka, K. Inoue, "Residual stress influence on the sensitivity of ultrasonic sensor having composite membrane structure", Sensors and Actuators A, 125, pp.242-248 (2006)

タイトルに関連する用語 (5件)： VDF ,  薄膜 ,  MEMS ,  超音波センサ ,  開発