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J-GLOBAL ID：201402261666411200   整理番号：14A1159355

ICチップレベルの低ノイズ化 高分解能RF電磁界プローブに関する研究

著者 (5件)： 遠藤恭 (東北大) ,  室賀翔 (東北大) ,  荒井薫 (東北大) ,  重田洋二郎 (東北大) ,  山口正洋 (東北大)
資料名： 電磁環境工学情報EMC  (月刊EMC)
巻： 27  号： 6  ページ： 22-30  発行年： 2014年10月05日 
JST資料番号： L0077A  ISSN： 0916-2275  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 高周波近傍磁界計測で高い空間分解能を有す計測法が求められており,本稿では,1)ループコイル型磁界プローブと,2)微細な磁気力顕微鏡(MFM)用探針を用いた高周波近傍磁界計測について述べた。1)は,Si基板上にセンサとともに増幅器を集積してアクティブ型としたものである。その基礎特性評価,TEGチップ上の近傍磁界計測について述べ,40μm以上の空間分解能が得られるとした。2)では,まず,場のうなり(Beating Field)方式によるコプレーナ伝送線路(CPW)上で発生するGHz帯の近傍磁界計測原理を説明した。次に,CPWと励磁用コイルとの間で発生するうなりをMFM探針で検出することによって,GHz帯の搬送周波数においてCPW上で発生する高周波近傍磁界の計測が可能であることを明らかにした。これはうなり方式MFMがRFICチップ上の微細な高周波近傍磁界分布の計測に適用できることを示唆している。

シソーラス用語： 雑音低減 ,  半導体チップ ,  *磁場測定 ,  高分解能 ,  磁気力顕微鏡 ,  近傍場 ,  コプレーナ導波路 ,  *磁気探針 ,  マイクロ波集積回路 ,  漏れ磁束 ,  マイクロストリップ線路 ,  プローブ ,  アナログディジタル混載集積回路 ,  電磁干渉 ,  *干渉雑音 ,  *雑音解析 ,  移動通信 ,  通信回路

分類 (2件)： 雑音一般  (ND04010J) ,  磁気の計測法・機器  (AD07060U)

引用文献 (22件)：

• N. Masuda, N. Tamaki, T. Kuriyama, Jin Ching Bu, M. Yamaguchi, K. Arai, 2003 IEEE Inter. Symp. Electromagn. Comp., 1, 80, (2003).
• N. Ando, N. Masuda, N. Tamaki, T. Kuriyama, M. Saito, S. Saito, K. Kato, K. Ohashi, M. Yamaguchi, J. Magn. Soc. Jpn., 30, 429 (2006).
• M. Yamaguchi, S. Koya, H. Torizuka, S. Aoyama, and S. Kawahito, IEEE Trans. Magn., 43, 2370 (2007).
• M. Iwanami, E. Yamazaki, S. Hoshino, M. Kishi, M. Tsuchiya: J. Magn. Soc. Jpn., 28, 853 (2004).
• M. Takahashi, K. Kawasaki, H. Ohba, T. Ikenaga, H. Ota, T. Orikasa, N. Adachi, K. Ishiyama, and K. Arai, IEEE Inter. Symp. Electromagn. Comp. 2009., 6, (2009).

タイトルに関連する用語 (7件)： ICチップ ,  低ノイズ ,  高分解能 ,  RF ,  電磁界 ,  プローブ ,  研究