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J-GLOBAL ID：201402271817263262   整理番号：14A0082941

光ナノインプリントリソグラフィの新潮流 光硬化性蛍光組成物によるナノインプリントプロセスの可視化

著者 (2件)： 久保祥一 (東北大) ,  中川勝 (東北大)
資料名： Optronics  (Optronics)
号： 385  ページ： 85-89  発行年： 2014年01月10日 
JST資料番号： Y0019A  ISSN： 0286-9659  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本文では,光硬化性蛍光組成物を使用することにより,汎用の蛍光顕微鏡観察により光ナノインプリントリソグラフィー(UV-NIL)のプロセスを可視化できる具体例を示し,その利点を概説した。ラジカル重合型光硬化性組成物に,蛍光色素を添加したものを蛍光レジストの光硬化性蛍光組成物として使用した。成形した蛍光レジストのパターンを,蛍光顕微鏡と光学顕微鏡により観察した。蛍光レジストの使用によりUV-NILプロセスを可視化する本方法は,光学顕微鏡や電子顕微鏡観察では検出が困難である問題に対応できた。微細加工における次世代の基盤技術であるUV-NILにおいては,光硬化性蛍光組成物を用いる蛍光観察法が重要な技術となる。

シソーラス用語： 光学顕微鏡法 ,  *リソグラフィー ,  パターン形成 ,  パターン転写 ,  *微細加工 ,  可視化 ,  光重合型樹脂 ,  蛍光体 ,  色素
準シソーラス用語： 蛍光顕微鏡観察 ,  蛍光色素 ,  光ナノインプリントリソグラフィー ,  光硬化性樹脂

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： 光ナノインプリントリソグラフィ ,  潮流 ,  光硬化 ,  蛍光 ,  ナノインプリント ,  プロセス ,  可視化