文献

J-GLOBAL ID：201402272670421980   整理番号：14A0787620

ダイヤモンドアレイ工具を用いたマイクロ加工に関する研究 第3報:FIBにより先鋭化した加工用AFMカンチレバーを用いた微細V溝加工

著者 (5件)： 高野登 (富山大 大学院理工学研究部) ,  清水大志 (富山大 大学院理工学教育部) ,  清水大志 (アドビックス) ,  山田茂 (富山大 大学院理工学研究部) ,  森田昇 (千葉大 大学院工学研究科)
資料名： 砥粒加工学会誌  (Abrasive Technology)
巻： 58  号： 7  ページ： 446-450  発行年： 2014年07月01日 
JST資料番号： L0473A  ISSN： 0914-2703  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究では,原子間力顕微鏡(AFM)機構と加工用AFMカンチレバーを用いて,微細かつ高精細なV溝加工を行うことを目的としている。本報では,集束イオンビームを用いて,ダイヤモンド切れ刃の先端角,すくい角,横すくい角を設けた加工用AFMカンチレバーを作製し,Ni-P合金に対して溝加工実験を行い,切れ刃形状が加工溝性状に及ぼす影響について検討を行った。その結果,先端角35°,すくい角0°の切れ刃を有する加工用AFMカンチレバーは,切れ刃断面形状を精度よく転写した微細V溝加工が可能であった。さらに,正の横すくい角を設けることにより,加工溝の盛り上がりを低減させることができた。(著者抄録)

シソーラス用語： 微細加工 ,  *溝加工 ,  溝 ,  原子間力顕微鏡 ,  *片持梁 ,  *切削工具 ,  *マイクロマシニング ,  ケイ素 ,  *ダイヤモンド工具 ,  *切れ刃 ,  角度 ,  刃先角 ,  *ニッケル合金 ,  リン含有合金 ,  形状効果 ,  形態 ,  断面 ,  鋭角 ,  改変 ,  技術 ,  イオンビーム ,  ビーム集束 ,  *イオンビーム加工
準シソーラス用語： V溝 ,  すくい角 ,  *ダイヤモンドアレイ工具 ,  *マイクロカンチレバー ,  集束イオンビーム技術 ,  先鋭化 ,  断面形状 ,  *微細工具

分類 (1件)： 切削一般  (QC02010V)

引用文献 (18件)：

• G. Binnig, C. F. Quate and Ch. Gerber: Atomic Force Microscope, Phys. Rev. Lett., 56 (1986) 930.
• R. D. Piner, J. Zhu, F. Xu, S. Hong and C. A. Mirkin: “Dip Pen“ Nanolithography, Science, 283 (1999) 661.
• K. Ashida, N. Morita and Y. Yoshida: Study on Nanomachining Process Using Mechanism of a Friction Force Microscope, JSME Int. J., Ser.C, 44 (2001) 244.
• T. Ono, H. Hamanaka and M. Esashi: Micromachining and Scanning Probe Microscope, J. Surface Sci. Soc. Jpn., 18, 4 (1997) 198 (in Japanese).
• T. Shibata: Micromachining of Diamond Thin Films, J. Surf. Finish. Soc. Jpn., 50, 11 (1999) 961 (in Japanese).

タイトルに関連する用語 (11件)： ダイヤモンド ,  アレイ ,  工具 ,  マイクロ加工 ,  研究 ,  FIB ,  先鋭化 ,  AFM ,  カンチレバー ,  微細 ,  V溝加工