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J-GLOBAL ID：201402287888011527   整理番号：14A1052247

プラズマ挙動の両極性PBII&D及び分析によるマイクロトレンチ上のDLCコーティング

DLC coating on a micro-trench by bipolar PBII&D and analysis of plasma behaviour

著者 (4件)： PARK Wonsoon (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  TOKIOKA Hideyuki (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  TANAKA Masaaki (PEGASUS Software Inc., Tokyo, JPN) ,  CHOI Junho (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
資料名： Journal of Physics. D. Applied Physics  (Journal of Physics. D. Applied Physics)
巻： 47  号： 33  ページ： 335306,1-8  発行年： 2014年08月20日 
JST資料番号： B0092B  ISSN： 0022-3727  CODEN： JPAPBE  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロトレンチ上でのダイヤモンド状炭素(DLC)コーティングを,両極性プラズマベースイオン注入及び堆積(PBII&D)により行い,作製膜の構造特性を研究した。堆積中のプラズマ挙動を,PIC-MCC法により行った二段階プロセスによりシミュレートした。二段階プロセスは,マイクロスケール寸法内でのプラズマ挙動のシミュレーションを可能にした。DLCコーティングにより,マイクロトレンチ表面を完全に被覆することができた。トレンチ側壁上のコーティングは,上部及び底部表面より薄く,その構造は,上部及び底部と異なっていた。

シソーラス用語： *ダイヤモンド状炭素 ,  DLC膜 ,  *被覆 ,  *溝 ,  *イオン注入 ,  構造特性 ,  シミュレーション
準シソーラス用語： コーティング ,  *トレンチ ,  *プラズマイオン注入

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  電子ビーム・イオンビームの応用  (BD02070X)

タイトルに関連する用語 (7件)： プラズマ ,  挙動 ,  両極性 ,  分析 ,  トレンチ ,  DLC ,  コーティング