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J-GLOBAL ID：201402294813055037   整理番号：14A0370723

環境制御型nc-AFMを用いた原子状水素照射Siエッチングの観察

著者 (10件)： 宮城友昭 (北陸先端科学技術大学院大) ,  笹原亮 (北陸先端科学技術大学院大) ,  富取正彦 (北陸先端科学技術大学院大) ,  粉川良平 (島津製作所) ,  大田昌弘 (島津製作所) ,  山田啓文 (京大 大学院) ,  小林圭 (京大 大学院) ,  小林圭 (京大 白眉セ) ,  大藪範昭 (京大 大学院) ,  大藪範昭 (JST)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 61st  ページ： ROMBUNNO.19A-D5-3  発行年： 2014年03月03日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2436-7613  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *原子間力顕微鏡 ,  環境管理 ,  *イオン照射 ,  ケイ素 ,  *エッチング ,  顕微鏡観察
準シソーラス用語： *ノンコンタクト原子間力顕微鏡 ,  原子状水素

分類 (3件)： 顕微鏡法  (BK01040E) ,  電子ビーム・イオンビームの応用  (BD02070X) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 環境制御 ,  NC-AFM ,  原子状水素 ,  Siエッチング ,  観察