文献

J-GLOBAL ID：201402296507540110   整理番号：14A0912078

ダイヤモンドアレイ工具を用いたマイクロ加工に関する研究 第4報:加工用AFMカンチレバーを用いた高能率微細加工

著者 (5件)： 高野登 (富山大 大学院理工学研究部) ,  園部修也 (富山大 大学院理工学教育部) ,  園部修也 (東海ゴム工業) ,  山田茂 (富山大 大学院理工学研究部) ,  森田昇 (千葉大 大学院工学研究科)
資料名： 砥粒加工学会誌  (Abrasive Technology)
巻： 58  号： 8  ページ： 509-514  発行年： 2014年08月01日 
JST資料番号： L0473A  ISSN： 0914-2703  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究では,原子間力顕微鏡(AFM)機構と加工用AFMカンチレバーを用いて,高能率な微細加工を行うことを目的としている。本報では,1本のカンチレバーに複数の多結晶ダイヤモンド切れ刃を具備した多刃カンチレバーと,剛性の異なるカンチレバーを複数本有するマルチカンチレバーの2種類の加工用AFMカンチレバーを作製し,Ni-P合金めっきと単結晶シリコン(100)に対して加工実験を行い,高能率微細加工用工具としての評価を行った。その結果,多刃カンチレバーは,複数の切れ刃による同形状の同時加工が可能であった。また,マルチカンチレバーはたわみ剛性に応じた同時加工が可能であった。(著者抄録)

シソーラス用語： *原子間力顕微鏡 ,  *片持梁 ,  *微細加工 ,  加工 ,  切削 ,  効率化 ,  ダイヤモンド ,  多結晶 ,  切れ刃 ,  切削工具 ,  ニッケル合金 ,  合金めっき ,  リン含有合金 ,  ケイ素 ,  単結晶 ,  *溝加工 ,  めっき皮膜 ,  *マイクロマシニング ,  曲げ剛性 ,  *ダイヤモンド工具 ,  アレイ
準シソーラス用語： ダイヤモンドアレイ工具 ,  高能率加工 ,  多結晶ダイヤモンド ,  多刃工具 ,  単結晶シリコン

分類 (2件)： 切削一般  (QC02010V) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (11件)：

• G. Binnig, C. F. Quate and Ch. Gerber: Atomic Force Microscope, Phys. Rev. Lett., 56 (1986) 930.
• R. D. Piner, J. Zhu, F. Xu, S. Hong and C. A. Mirkin: ”Dip Pen” Nanolithography, Science, 283 (1999) 661.
• K. Ashida, N. Morita and Y. Yoshida: Study on Nanomachining Process Using Mechanism of a Friction Force Microscope, JSME Int. J., Ser.C, 44 (2001) 244.
• N. Takano, N. Morita, H. Hayashi, N. Kawasigi, S. Yamada, T. Ohyama, K. Kanda, S. Takano and T. Obata: Development and its Applications of Diamond Array Tool using Silicon Mold (1st Report) - Fabrication of Diamond Array Tool using Silicon Mold-, J. Jpn. Soc. Precision Eng., 70, 11 (2004) 1402 (in Japanese).
• N. Kawasegi, N. Takano, D. Oka, N. Morita, S. Yamada, K. Kanda, S. Takano, T. Obata and K. Ashida: Nanomachining of Silicon Surface Using Atomic Force Microscope with Diamond Tip, ASME J. Manuf. Sci. Eng., 128 (2006) 723.

タイトルに関連する用語 (9件)： ダイヤモンド ,  アレイ ,  工具 ,  マイクロ加工 ,  研究 ,  AFM ,  カンチレバー ,  高能率 ,  微細加工