特許
J-GLOBAL ID:201403002169356210
磁気抵抗効果素子、及び磁気ランダムアクセスメモリ
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
加藤 朝道
公報種別:再公表公報
出願番号(国際出願番号):JP2012059485
公開番号(公開出願番号):WO2012-137911
出願日: 2012年04月06日
公開日(公表日): 2012年10月11日
要約:
本発明は、容易に低コストで製造することができる、電流駆動磁壁移動現象を利用したMRAMおよびその製造方法を提供する。第1強磁性層(10)と、該第1強磁性層に対向し、非磁性膜を挟んで配置された、磁化が固定された第2強磁性層(30)と、該第1強磁性層の一端部に接して配置された第3強磁性層(40)と、該第1強磁性層の他端部に接して配置された第4強磁性層(50)と、を具備し、該第1強磁性層及び該第3強磁性層は、1つの強磁性体の長手方向の一方の端部を酸化して該第3強磁性層とし、残る部分を該第1強磁性層とした構造を有することを特徴とする磁気抵抗効果素子。
請求項(抜粋):
第1強磁性層と、
該第1強磁性層に対向し、非磁性膜を挟んで配置された、磁化が固定された第2強磁性層と、
該第1強磁性層の一端部に接して配置された第3強磁性層と、
該第1強磁性層の他端部に接して配置された第4強磁性層と、を具備し、
該第1強磁性層及び該第3強磁性層は、1つの強磁性体の長手方向の一方の端部を酸化して該第3強磁性層とし、残る部分を該第1強磁性層とした構造を有することを特徴とする、磁気抵抗効果素子。
IPC (5件):
H01L 43/08
, H01L 27/105
, H01L 21/824
, H01L 29/82
, H01L 43/12
FI (4件):
H01L43/08 Z
, H01L27/10 447
, H01L29/82 Z
, H01L43/12
Fターム (29件):
4M119AA03
, 4M119AA19
, 4M119BB01
, 4M119BB03
, 4M119CC05
, 4M119CC10
, 4M119DD17
, 4M119JJ02
, 5F092AA11
, 5F092AB06
, 5F092AC08
, 5F092AC12
, 5F092AD23
, 5F092AD25
, 5F092AD26
, 5F092BB22
, 5F092BB23
, 5F092BB31
, 5F092BB33
, 5F092BB34
, 5F092BB35
, 5F092BB36
, 5F092BB38
, 5F092BB42
, 5F092BB43
, 5F092BB45
, 5F092BC03
, 5F092CA15
, 5F092CA23
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