特許
J-GLOBAL ID:201403010674591030

ダイヤモンド研磨装置、及びダイヤモンドの研磨方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 山野 宏
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-038052
公開番号(公開出願番号):特開2014-161990
出願日: 2013年02月27日
公開日(公表日): 2014年09月08日
要約:
【課題】ダイヤモンドの結晶方位に対する研磨方向の依存性が小さく、研磨速度が従来のダイヤモンド研磨装置よりも大きなダイヤモンド研磨装置、並びに研磨方法を提供する。【解決手段】ダイヤモンド研磨装置は、回転する研磨板40と、保持機構とを備える。保持機構は、研磨対象であるダイヤモンドと研磨板40の研磨面41とを接触させた状態で保持する。研磨板40の研磨面41は、少なくともダイヤモンドとの摺動面の素材がガラスであり、かつ、このガラスの軟化点が720°C以上830°C以下である。【選択図】図2
請求項(抜粋):
回転する研磨板と、 研磨対象であるダイヤモンドと前記研磨板の研磨面とを接触させた状態で保持する保持機構とを備えるダイヤモンド研磨装置であって、 前記研磨面のうち、少なくともダイヤモンドとの摺動面の素材がガラスであり、かつ、このガラスの軟化点が720°C以上830°C以下であるダイヤモンド研磨装置。
IPC (1件):
B24B 9/16
FI (1件):
B24B9/16
Fターム (4件):
3C049AA09 ,  3C049AB04 ,  3C049CA04 ,  3C049CB01
引用特許:
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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