特許
J-GLOBAL ID：201403010811016560
加工用カンチレバー
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
黒田 壽
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-226272
公開番号（公開出願番号）：特開2010-058222
特許番号：特許第5548914号
出願日： 2008年09月03日
公開日（公表日）： 2010年03月18日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 原子間力顕微鏡の機能を利用して多数の微細溝の切削加工を行うための加工用カンチレバーにおいて、
切れ刃となるプローブがカンチレバーのレバー部先端に多数設けられており、
前記多数のプローブが共通のプローブ基材と一体にプローブ群として形成されており、
前記プローブ群における各プローブが複数のn列に配列されており、各列におけるプローブのピッチがAであり、隣接する列間でA/nだけ列方向にずれて配置されていることを特徴とする加工用カンチレバー。
IPC (7件)：
B82B 3/00 ( 200 6.01)
, B82Y 30/00 ( 201 1.01)
, B82Y 40/00 ( 201 1.01)
, G01Q 60/38 ( 201 0.01)
, G01Q 80/00 ( 201 0.01)
, G01Q 70/06 ( 201 0.01)
, G03F 1/72 ( 201 2.01)
B82B 3/00
, B82Y 30/00
, B82Y 40/00
, G01Q 60/38 101
, G01Q 80/00 111
, G01Q 70/06
, G03F 1/72
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (7件)
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