切断装置と切断方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：加藤朝道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-238218
公開番号（公開出願番号）：特開2014-054724
出願日： 2013年11月18日
公開日（公表日）： 2014年03月27日
要約：

【課題】切断速度が比較的遅い、ワイヤーが切れ易い、切代が大きくなるという問題を解消する方法、装置の提供。【解決手段】インゴット102を切断面に直交する回転軸を中心に回転させ、ワイヤー又は回転刃による放電加工により前記インゴットを切断する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

ワイヤー又は回転刃による放電加工により、インゴットを切断しウェハーを切り出すにあたり、前記インゴットを切断面に直交する回転軸を中心に回転させて切断し、前記ワイヤー又は回転刃と前記インゴットの接触部を光照射する手段を備えている、ことを特徴とする切断装置。

IPC (3件)：

B23H 7/38 , B23H 7/02 , B23H 9/00

FI (3件)：

B23H7/38 Z , B23H7/02 Z , B23H9/00 Z

Fターム (10件)：

3C059AA01 , 3C059AB05 , 3C059AB08 , 3C059DA05 , 3C059DB02 , 3C059EA00 , 3C059EE07 , 3C059FB13 , 3C059HA02 , 3C059JA16

引用特許：

審査官引用 (17件)

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