特許
J-GLOBAL ID：201403071339621306
カーボンナノチューブの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (3件)：
三好 秀和
, 高橋 俊一
, 鈴木 壯兵衞
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-037412
公開番号（公開出願番号）：特開2011-173743
特許番号：特許第5552834号
出願日： 2010年02月23日
公開日（公表日）： 2011年09月08日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 活性液面連続真空蒸着法により作製した金属微粒子を含む触媒溶液を基礎基板上に滴下し乾燥させ前記基礎基板上に金属微粒子層を備える基板を製造する工程と、
前記基板をチャンバー内に配置し前記基板にプラズマCVD処理しカーボンナノチューブを製造する工程と
を含み、
前記カーボンナノチューブを製造する工程では、基板加熱温度(°C)を700°C〜800°C、水素流量を64〜96sccm、メタン流量を18〜22sccm、成長時間を9〜11分とすることを特徴とするカーボンナノチューブの製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (8件)
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