特許

J-GLOBAL ID：201403077691289824

研磨具及び研磨装置

発明者： 佐野 泰久 ,  山内 和人 ,  村田 順二 ,  岡本 武志 ,  定國 峻 ,  八木 圭太
出願人/特許権者： 国立大学法人大阪大学 ,  株式会社荏原製作所
代理人 (2件)： 渡邉 勇 ,  廣澤 哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-215415
公開番号（公開出願番号）：特開2014-027299
出願日： 2013年10月16日
公開日（公表日）： 2014年02月06日
要約：

【課題】スクラッチの発生が少なく平坦な被加工面を得ることができ、しかも、基本的に触媒のみを交換できるようにすることで、安価かつ耐久性の良い研磨具を提供する。【解決手段】研磨具は、ゴム、樹脂、発泡性の樹脂または不織布のうち1つ以上の弾性体からなる基材260と、基材260の少なくとも基板と接触する部位に配置される導電性部材264と、基材260と導電性部材264との間に両者の密着性を向上させるために介装されるカーボンまたはクロムからなる中間膜262とを有する。【選択図】図14

請求項（抜粋）：

ゴム、樹脂、発泡性の樹脂または不織布のうち1つ以上の弾性体からなる基材と、 前記基材の少なくとも基板と接触する部位に配置される導電性部材と、 前記基材と前記導電性部材との間に両者の密着性を向上させるために介装されるカーボンまたはクロムからなる中間膜とを有することを特徴とする研磨具。

IPC (2件)：

H01L 21/304 ,  B24B 37/24

FI (2件)：

H01L21/304 622F ,  B24B37/00 L

Fターム (17件)：

3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058CA05 ,  3C058CB02 ,  3C058CB05 ,  3C058CB10 ,  3C058DA17 ,  5F057AA03 ,  5F057AA44 ,  5F057BA12 ,  5F057BB06 ,  5F057BB08 ,  5F057CA11 ,  5F057DA04 ,  5F057EB03 ,  5F057EB04 ,  5F057EB08

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 導電性研磨パッドおよびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-311723   出願人：三菱レイヨン株式会社
• 研磨パッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-063547   出願人：東洋ゴム工業株式会社
• 研磨用工具
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-079686   出願人：スピードファム株式会社