特許
J-GLOBAL ID：201403089339138849
カーボンナノチューブ膜を用いる半導体装置及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
宮崎 昭夫
, 石橋 政幸
, 緒方 雅昭
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-531154
特許番号：特許第5347964号
出願日： 2008年06月06日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 単層カーボンナノチューブからなる膜を有する電極、配線およびチャネルの少なくとも何れか1つを有する半導体装置であって、
前記膜において隣接する単層カーボンナノチューブ間が金属粒子を介して架橋されていることを特徴とする半導体装置。
IPC (10件)：
H01L 29/06 ( 200 6.01)
, H01L 29/786 ( 200 6.01)
, H01L 21/28 ( 200 6.01)
, H01L 21/288 ( 200 6.01)
, H01L 21/3205 ( 200 6.01)
, H01L 21/768 ( 200 6.01)
, H01L 23/532 ( 200 6.01)
, B82B 1/00 ( 200 6.01)
, B82B 3/00 ( 200 6.01)
, C01B 31/02 ( 200 6.01)
H01L 29/06 601 N
, H01L 29/78 618 B
, H01L 29/78 616 V
, H01L 21/28 301 B
, H01L 21/288 Z
, H01L 21/88 M
, B82B 1/00
, B82B 3/00
, C01B 31/02 101 F
