特許
J-GLOBAL ID：201403092861029597
試料用シート及び試料の製作方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
渡辺 喜平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-170526
公開番号（公開出願番号）：特開2014-029308
出願日： 2012年07月31日
公開日（公表日）： 2014年02月13日
要約：
【課題】 走査電子顕微鏡により試料を観察する際に、生の試料表面を観察可能とするとともに、EDX等の元素分析を行う場合にコーティング材が検出される事態を回避でき、かつ、試料の作製に要する工数を減少可能とする。【解決手段】 走査電子顕微鏡を用いて観察される対象物を採取するための試料用シート10であって、対象物を採取していない状態で、導電性が付与されており、対象物を含む懸濁液が当該試料用シートの表面に滴下されると、懸濁液を濾過して、対象物を捕捉する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
走査電子顕微鏡を用いて観察される対象物を採取するための試料用シートであって、
前記対象物を採取していない状態で、導電性が付与されており、
前記対象物を含む懸濁液が当該試料用シートの表面に滴下されると、前記懸濁液を濾過して、前記対象物を捕捉する
ことを特徴とする試料用シート。
IPC (4件)：
G01N 1/28
, G01N 1/10
, B01D 69/00
, B01D 39/16
G01N1/28 F
, G01N1/28 J
, G01N1/10 B
, B01D69/00
, B01D39/16 A
2G052AA36
, 2G052AD09
, 2G052AD29
, 2G052AD52
, 2G052BA21
, 2G052EA03
, 2G052GA35
, 4D006GA07
, 4D006MA03
, 4D006MA21
, 4D006MA31
, 4D006MB17
, 4D006MC04
, 4D006MC11
, 4D006MC18
, 4D006MC22
, 4D006MC23
, 4D006MC24
, 4D006MC27
, 4D006MC29
, 4D006MC30
, 4D006MC37
, 4D006MC39
, 4D006MC48
, 4D006MC49
, 4D006MC90
, 4D006NA61
, 4D006PC80
, 4D019AA03
, 4D019BA12
, 4D019BB05
, 4D019BC20
