研究者
J-GLOBAL ID：201501003892733509   更新日: 2024年03月21日

山内 和人

ヤマウチ カズト | Yamauchi Kazuto
所属機関・部署：
大阪大学 大学院工学研究科 物理学系専攻

大阪大学 大学院工学研究科 物理学系専攻 について


職名： 教授
ホームページURL (1件)： http://www-up.prec.eng.osaka-u.ac.jp/
研究分野 (4件)： 材料力学、機械材料 ,  天文学 ,  量子ビーム科学 ,  加工学、生産工学
研究キーワード (30件)： CEM ,  液体金属イオン源 ,  X線干渉計 ,  非接触 ,  波面光学 ,  基板改質 ,  起精密加工 ,  超精密加工面 ,  半導体 ,  ポリシング ,  シリコン薄膜 ,  イオン照射 ,  低温成膜 ,  非球面ミラー ,  表面光起電力 ,  X線光学 ,  エッチング ,  表面電子準位 ,  放射光 ,  X線顕微鏡 ,  分光 ,  SPV ,  表面改質 ,  シリコン ,  X線自由電子レーザー ,  X線ミラー ,  X線集光 ,  数値制御加工 ,  超精密加工 ,  EEM
競争的資金等の研究課題 (20件)：
  • 2021 - 2025 伝播波面の精密制御によるコヒーレントX線のナノビーム形成
  • 2015 - 2018 第一原理分子動力学法による触媒援用表面加工法におけるエッチング過程の解明
  • 2011 - 2016 補償光学系を駆使した多段光学系によるX線自由電子レーザーのナノメートル集光
  • 2012 - 2014 太陽観測に向けた超高精度X線ミラーの開発
  • 2010 - 2012 第一原理計算によるCARE加工プロセスの解明
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論文 (762件)：
  • D. Toh, K. Takeda, K. Kayao, Y. Ohkubo, K. Yamauchi, Y. Sano. Ultra-precision smooth surface on polymer material prepared by catalyst-referred etching. International Journal of Automation Technology. 2024. 18. 2. 240-247
  • Shotaro Matsumura, Iori Ogasahara, Masafumi Miyake, Taito Osaka, Daisetsu Toh, Jumpei Yamada, Makina YABASHI, Kazuto Yamauchi, Yasuhisa Sano. High-pressure plasma etching up to 9 atm toward uniform processing inside narrow grooves of high-precision X-ray crystal optics. Applied Physics Express. 2023
  • Daisetsu Toh, Kiyoto Kayao, Kazuto Yamauchi, Yasuhisa Sano. Fabrication of YAG ceramics surface without damage and grain boundary steps using catalyzed chemical wet etching. CIRP Journal of Manufacturing Science and Technology. 2023. 47. 1-6
  • Daisetsu Toh, Kiyoto Kayao, Pho Van Bui, Kouji Inagaki, Yoshitada Morikawa, Kazuto Yamauchi, Yasuhisa Sano. Catalyst enhancement approach for improving the removal rate and stability of silica glass polishing via catalyzed chemical etching in pure water. Precision Engineering. 2023. 84. 21-27
  • Jumpei Yamada, Satoshi Matsuyama, Ichiro Inoue, Taito Osaka, Takato Inoue, Nami Nakamura, Yuto Tanaka, Yuichi Inubushi, Toshinori Yabuuchi, Kensuke Tono, et al. Ultimate condensation of hard X-ray free-electron laser reaching single-nanometre focus size and 1022 W/cm2 intensity. 2023
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MISC (352件)：
  • 山田純平, 松山智至, 井上陽登, 伊藤篤輝, 田中優人, 大坂泰斗, 井上伊知郎, 犬伏雄一, 湯本博勝, 湯本博勝, et al. Advanced KBミラーに基づく硬X線自由電子レーザーsub-10nm集光システム. 日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム(Web). 2022. 35th
  • 櫛川新太, 西岡柚香, 藤大雪, 山内和人, 佐野泰久. 大気圧プラズマによる表面処理を利用した常温接合技術の開発. 精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集. 2022. 2022
  • 中上元太, 崔泰樹, 藤大雪, 山内和人, 佐野泰久. 水素ガスを用いた大気圧プラズマによる窒化ガリウム基板の高能率エッチング. 精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集. 2022. 2022
  • 萱尾澄人, 藤大雪, 山田純平, 山内和人, 佐野泰久. 紫外光照射を援用した触媒表面基準エッチング法を用いた窒化ガリウム基板の高能率平滑化. 精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集. 2022. 2022
  • 山田純平, 松山智至, 松山智至, 井上陽登, 中村南美, 田中優人, 大坂泰斗, 井上伊知郎, 犬伏雄一, 犬伏雄一, et al. Wolter III型advanced KBミラーによるXFEL sub-10nm集光光学系の開発. 日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム(Web). 2021. 34th
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書籍 (18件)：
  • NEW GLASS Vol.32 No.3 触媒表面基準エッチング法による機能材料表面の原子スケール平坦化
    ニューガラスフォーラム 2017
  • 応用物理 vol.86 no.10 放射光科学のための高精度X線ミラーの開発
    応用物理学会 2017
  • 學士會会報 No.923 放射光科学に貢献するX線のナノ集光技術
    學士會 2017
  • 蛍光X線分析の実際 第2版 13.4章 高空間分解能化のための光学技術
    朝倉書店 2016 ISBN:9784254141030
  • 蛍光X線分析の実際 第2版 13.4章 高空間分解能化のための光学技術
    朝倉書店 2016 ISBN:9784254141030
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講演・口頭発表等 (56件)：
  • Atomically Controlled Surfacing of Single crystalline SiC and GaN by Catalyst-Referred Etching (CARE)
    (The 6th Quantum Science (QS) symposium -The Main Symposium of ICCMSE 2020 -Computational Chemistry and Computational Physics, ONLINE)
  • Development of Catalyst Referred Etching to Produce Atomically Smooth and Crystallographically Ordered Surfaces
    (The 22nd International Symposium on Advances in Abrasive Technology (ISAAT 2019))
  • Recent Progress in Hard X-ray Reflective Optics for Synchrotron Radiation Sources
    (X RIAO-XIII OPTILAS-MOPM 2019)
  • Fabrication and metrology of precision X-ray optics for new generation synchrotron radiation sources
    (International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII 2019))
  • Mirror based X-ray optical system for the next generation beamline
    (International Baltic School 2019 "4-th Generation X-ray Sources: coherent optics and techniques")
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経歴 (5件)：
  • 2020/04 - 現在 大阪大学 大学院工学研究科 物理学系専攻 精密工学コース 教授
  • 2003/10/01 - 2020/03/31 大阪大学 工学研究科 精密科学・応用物理学専攻 教授
  • 1998/04/01 - 2003/09/30 大阪大学 工学研究科 精密科学・応用物理学専攻 助教授
  • 1992/04 - 2003/09 大阪大学助教授
  • 1984/04 - 1992/03 大阪大学助手
受賞 (16件)：
  • 2023/06 - (公社)発明協会 全国発明表彰 未来創造発明奨励賞 ナノ集光X線ミラー作製のための超精密測定法の発明
  • 2023/04 - 日本国 紫綬褒章 放射光X線の微小ビーム形成技術の開発
  • 2019/07 - (公財)レーザー技術総合研究所 泰山賞(レーザー進歩賞) 超高性能X線集光ミラーの開発
  • 2016/04 - 文部科学省 文部科学大臣表彰 科学技術賞(研究部門)
  • 2016/01 - 応用物理学会 第21回 電子デバイス界面テクノロジー研究会 安田賞
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所属学会 (7件)：
日本光学会 ,  OSA (The Optical Society of America) ,  EUSPEN (european society for precision engineering and nanotechnology) ,  SPIE (The International Society for Optical Engineering) ,  日本放射光学会 ,  応用物理学会 ,  精密工学会
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