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J-GLOBAL ID：201502207341599973   整理番号：15A0671226

真空常識~非常識 電解複合研磨による金属表面改質技術

著者 (3件)： 東伸一 (日造精密研磨) ,  中村研一 (日造精密研磨) ,  丸山聡 (日造精密研磨)
資料名： 真空ジャーナル  (Journal of Japan Vacuum Industry Association)
号： 152  ページ： 82-85  発行年： 2015年05月09日 
JST資料番号： L8030A  ISSN： 1883-1052  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 電解複合研磨(ECB)は,真空を利用した装置に対する研磨技術として広く利用されており,本稿は,この電解複合研磨技術によって得られる表面とその注意点に関して説明した。ECBは,電解による金属溶出作用と,研磨材による機械的擦過作用とを複合した研磨技術であると概説し,当初のECB技術は化学プラントにて原料・製品類が配管や容器などへ付着する事を防止する目的で利用されていたが,その後,機械的研磨や電解研磨よりも清浄な表面に仕上げられるECBの特徴を生かし,高度な処理が求められる半導体製造装置などの真空機器に適用範囲が広がっていったと説明した。その加工特性について詳述すると共に,ECBの特徴について言及し,最近の適用例として,国立天文台や高エネルギー加速器研究機構などが参画する,大型低温重力波望遠鏡「KAGRA」の内面処理にECBが採用されていると説明した。また,地殻変動計測装置,シンクロトロン放射光装置,表面電子分光断層解析装置,電子構造および有機薄膜研究用超高真空槽等への適用について言及した。

シソーラス用語： 真空 ,  *表面改質 ,  電解 ,  *研削材 ,  化学プラント ,  配管 ,  容器 ,  付着 ,  *電解研磨 ,  地殻変動 ,  計測器 ,  シンクロトロン放射 ,  電子構造 ,  断層 ,  *研磨
準シソーラス用語： *金属表面 ,  重力波望遠鏡 ,  常識 ,  半導体製造装置 ,  有機薄膜

分類 (1件)： その他の表面処理  (WC08070F)

タイトルに関連する用語 (6件)： 真空 ,  常識 ,  電解 ,  研磨 ,  金属表面 ,  改質