文献

J-GLOBAL ID：201502208295697970   整理番号：15A1096478

平面ステージ精密制御用多自由度光センサに関する研究

著者 (6件)： 古田雅也 (東北大) ,  LI Xinghui (東北大) ,  CAI Yindi (東北大) ,  清水裕樹 (東北大) ,  伊東聡 (東北大) ,  GAO Wei (東北大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2015  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.O17  発行年： 2015年08月20日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 平面ステージは超精密加工機・測定機に用いられる位置決め装置である。nm級の高い位置決め精度を実現するためには,多自由度で高精度に計測を行うセンサシステムを構築し,フルクローズドループ制御を行う必要がある。本報では,平面ステージ精密制御用多自由度光センサについて,センサヘッド光学系の最適化を図るとともに,試作したセンサのクロストーク特性を実験的に評価した結果について報告する。(著者抄録)

シソーラス用語： *光センサ ,  *自由度 ,  超精密加工 ,  位置決め装置 ,  *位置決め ,  工作精度 ,  *フィードバック制御 ,  光学設計 ,  *最適化 ,  クロストーク ,  実験 ,  *精密測定
準シソーラス用語： 多自由度 ,  閉ループ制御

分類 (2件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  光学的測定とその装置一般  (BD07010S)

タイトルに関連する用語 (5件)： ステージ ,  精密制御 ,  多自由度 ,  光センサ ,  研究