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J-GLOBAL ID：201502210925661028   整理番号：15A1096117

光周波数コムを用いた角度スケールコムに関する研究

著者 (6件)： 清水裕樹 (東北大) ,  玉田純 (東北大) ,  工藤幸利 (東北大) ,  CHEN Yuan-Liu (東北大) ,  伊東聡 (東北大) ,  GAO Wei (東北大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2015  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.B45  発行年： 2015年08月20日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 光周波数コムにマイクロサイズのピッチを有する反射回折格子を融合して創出した角度スケールコムを測定基準として用いる,新たな超高精度・高安定角度検出原理を提案する。本報では,光周波数コムをベースとした角度スケールコムの創出原理,及び提案コンセプトによる角度検出原理について述べるとともに,試作した角度センサ光学系を用いて原理検証実験を実施し,提案手法の有効性を評価した結果について報告する。(著者抄録)

シソーラス用語： *周波数 ,  *センサ ,  *角度測定 ,  精度 ,  安定性 ,  光学系 ,  回折格子
準シソーラス用語： 角度センサ ,  *角度検出器 ,  *光周波数コム ,  超高精度

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (4件)： 光周波数コム ,  スケール ,  コム ,  研究