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J-GLOBAL ID：201502211067304802   整理番号：15A0508920

3次元PIC/MC法による矩形マグネトロンスパッタカソードのエロージョン形状の解析

著者 (6件)： 矢部裕 (昭和真空) ,  小寺恭介 (昭和真空) ,  吉田武史 (昭和真空) ,  久保信一 (昭和真空) ,  高橋理 (昭和真空) ,  南部健一 (東北大 流体科研)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 62nd  ページ： ROMBUNNO.14A-A28-5  発行年： 2015年02月26日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2436-7613  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *マグネトロンスパッタリング ,  *損傷 ,  *摩耗 ,  *プラズマシミュレーション ,  計算機シミュレーション ,  モンテカルロ法
準シソーラス用語： *エロージョン ,  電極損傷 ,  PICシミュレーション

分類 (2件)： プラズマ装置  (BJ02082I) ,  プラズマ応用  (BJ02110K)

タイトルに関連する用語 (6件)： 3次元 ,  PIC ,  MC ,  矩形 ,  エロージョン ,  解析