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文献
J-GLOBAL ID:201502217780469216   整理番号:15A0744595

ナノメータ加工のための高精度工具位置出し技術の開発 (第1報) -基礎実験-

Precise Tool Positioning on Workpiece for Nano-machining (1st Report) -Fundamental Experiments-
著者 (7件):
資料名:
巻: 81  号:ページ: 339-343 (J-STAGE)  発行年: 2015年 
JST資料番号: U0462A  ISSN: 1882-675X  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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抄録/ポイント
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最近,微小位置決め精度を有する様々な切削加工機が開発されているが,しばしば工具とワークの相対位置決めが必要である。本稿では,圧電素子を用いた微小位置決め機構を提案し,実験装置を試作してナノメートルオーダの工具位置出し技術の検証を行った。クロス配置したステンレス丸棒を接触子として用い,手動及び圧電素子での駆動による変位検出を渦電流式変位計を用いて評価した。接触への電圧印加により繰り返し接触感知を行い,位置決め精度を判断した。実験においては,判定レベルによるバラツキ,印加電圧や制限抵抗値の最適範囲の算出,ステンレス以外のアルミや黄銅など接触子の材料の影響などを調べ,実用性を確認するとともに,金蒸着したダイヤモンド工具での適用性についても示した。
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分類 (2件):
分類
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工作機械要素,ジグ,チャック  ,  その他の切削 
タイトルに関連する用語 (5件):
タイトルに関連する用語
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