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J-GLOBAL ID：201502218044791671   整理番号：15A1185659

フォトニクスが拓く次世代ものづくり技術 精密測定機・加工機向け光学式エンコーダー技術

著者 (4件)： LI Xinghui (東北大 大学院工学研究科) ,  LI Xinghui (Tsinghua Univ., Shenzhen, CHN) ,  清水裕樹 (東北大 大学院工学研究科) ,  GAO Wei (東北大 大学院工学研究科)
資料名： 光学  (Japanese Journal of Optics)
巻： 44  号： 9  ページ： 356-362  発行年： 2015年09月10日 
JST資料番号： G0125B  ISSN： 0389-6625  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 半導体製造装置や超精密加工機では,超精密な多軸ステージ機構が利用されている。高分解能で高精度の光センサで位置決め制御が行われる。高精度センサにはレーザ干渉変位計が利用されている。本論文では,精密測定機や加工機向け光学式エンコーダについて紹介した。多軸変位で姿勢角を観測するエンコーダを説明した。1つのレーザビームで6軸変位計測を実現するサーフェスエンコーダの原理を述べ,重要なコンポーネントである二次元回折格子の加工について説明した。ステージプレートの底部にスケール用回折格子を搭載することで,従来のレーザ干渉計でのフィードバックから成るステージシステムに比べて,大幅なコンパクト化を実現した。

シソーラス用語： オプトエレクトロニクス ,  製造 ,  技術革新 ,  技術予測 ,  *位置センサ ,  測長機 ,  変位測定 ,  *光センサ ,  *精密測定 ,  *精密加工 ,  特殊加工機 ,  計測器 ,  装置 ,  半導体プロセス ,  超精密加工 ,  制御 ,  位置決め ,  光干渉 ,  レーザビーム ,  回折格子 ,  フィードバック
準シソーラス用語： フォトニクス ,  *リニアエンコーダ ,  レーザ干渉 ,  レーザ変位計 ,  位置決め制御 ,  技術動向 ,  次世代 ,  半導体製造装置 ,  物作り

分類 (1件)： その他の光デバイス  (BD06060O)

引用文献 (11件)：

• H. Kunzmann, T. Pfeifer and J. Flugge: CIRP Ann. Manuf. Technol., 42 (1993) 753-767.
• A. Teimel: Precis. Eng., 14 (1992) 147-154.
• J. Bryan: Precis. Eng., 1 (1979) 129-132.
• W. Gao: Precision Nanometrology: Sensors and Measuring Systems for Nanomanufacuting (Springer, London, 2010) pp. 69-140.
• W. Gao and A. Kimura: CIRP Ann. Manuf. Technol., 56 (2007) 529-532.

タイトルに関連する用語 (7件)： フォトニクス ,  次世代 ,  ものづくり ,  精密測定 ,  加工機 ,  光学 ,  エンコーダー