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J-GLOBAL ID：201502228437907900   整理番号：15A0193461

コリニア位相干渉光学系を用いた非接触形状計測の研究

Study of non-contact shape measurement using a collinear phase interference optical system

著者 (5件)： 坂口一灯 (豊橋技科大) ,  橋本良介 (豊橋技科大) ,  後藤太一 (豊橋技科大) ,  高木宏幸 (豊橋技科大) ,  井上光輝 (豊橋技科大)
資料名： 電気学会マグネティックス研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： MAG-14  号： 225-235  ページ： 43-47  発行年： 2014年12月25日 
JST資料番号： Z0924A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 近年,光学測定技術は非接触の試料を測定するため技術として用いられている。本論文では,フレネルゾーンプレートを用いたコリニア位相干渉光学系を提案し,光学系の原理実証として,電界計算を行った。最初にコリニア光学系を構築するためのレンズの役割を担うフレネルゾーンプレートを設計した。次に,フレネルゾーンプレートを用いた光学系によって,試験体に段差を設けることによる位相変化を計算し,干渉光強度の変化量から物体光と参照光の位相差を定量的に求められることを示した。干渉光強度は,二光線の位相差によって表される理論値と精度よく一致した。それらの結果から,本光学系による磁気光学効果の測定が有効であることを示した。

シソーラス用語： *光学的測定 ,  *干渉 ,  *位相 ,  *非接触測定 ,  *形状測定 ,  *磁気光学効果 ,  有限要素法 ,  高感度 ,  位相検波 ,  *光学系 ,  *ゾーンプレート ,  位相変調 ,  シミュレーション
準シソーラス用語： 位相干渉 ,  コリニア位相干渉光学系 ,  Fresnelゾーンプレート

分類 (3件)： 干渉測定と干渉計  (BD07070G) ,  非破壊試験  (HB02030F) ,  電気光学効果,磁気光学効果  (BM08020L)

引用文献 (12件)：

• 横野泰和:「非破壊検査の種類と特徴」,溶接学会誌,Vol.59,No.6,pp.410-413(1990)
• 田代晋久・脇若弘之:「インダクション磁気センサを用いた微小金属片検出」,日本AEM学会誌,Vol.17,No.2,pp.354-359(2009)
• 高橋哲也:「磁気センサを使用した金属微粒子検出」,日置技報,Vol.34,No.1,pp.1-4(2013)
• 田中三郎:「SQUIDを用いた食品および電池内異物検査」,非破壊検査協会,Vol.63,No.11,pp.556-561(2014)
• 張賀東・三矢保永・坂野貴裕・福澤健二:「低コヒーレンス位相シフト干渉法を用いたナノ潤滑膜の三次元画像計測」,日本機械学会,Vol.73,No.730,pp.256-262(2007)

タイトルに関連する用語 (5件)： 位相干渉 ,  光学系 ,  非接触 ,  形状計測 ,  研究