文献

J-GLOBAL ID：201502236346753911   整理番号：15A0393231

第11回 ナノテクノロジープラットフォームを活用した研究・技術開発の新展開~ベンチャー,中小から大企業まで~東北大学マイクロシステム融合研究開発センター

著者 (3件)： 戸津健太郎 (東北大 “西澤潤一記念研究セ”) ,  森山雅昭 (東北大 “西澤潤一記念研究セ”) ,  鈴木裕輝夫 (東北大 “西澤潤一記念研究セ”)
資料名： 工業材料  (Engineering Materials)
巻： 63  号： 4  ページ： 52-54  発行年： 2015年04月01日 
JST資料番号： F0172A  ISSN： 0452-2834  CODEN： KZAIA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 文部科学省のナノテクノロジープラットフォームに位置づけられている東北大学ナノテク融合技術センターの3つの分野のうち標記の微細加工分野の活動概要を報告した。東北大西澤潤一記念研究センターに1800m²という大きなクリーンルームを擁して,デバイス試作の場として支援を行っている。MEMS,半導体,微小光学素子などについて,その場で大学スタッフの技術支援を受け,研究開発を行う仕組みである。試作デバイスの例として,加速度センサーなどのセンサー類があり,放射線センサーはすでに実用化されている。センターとしての企業開発者の人材育成,および企業がセンターを利用して製品を製作する場合の要件について述べた。

シソーラス用語： 大学 ,  *ナノテクノロジー ,  施設 ,  行政機関 ,  助成 ,  研究開発 ,  *微細加工 ,  MEMS ,  マイクロマシニング ,  *半導体素子 ,  光学素子 ,  試作 ,  速度センサ ,  放射線 ,  人材育成
準シソーラス用語： 加速度センサ ,  共用施設 ,  研究支援 ,  東北大学 ,  文部科学省 ,  放射線センサ

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (9件)： ナノテクノロジープラットフォーム ,  活用 ,  研究 ,  開発 ,  展開 ,  大企業 ,  マイクロシステム ,  融合 ,  センター