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文献
J-GLOBAL ID:201502248936432736   整理番号:15A0506710

反応性プラズマ蒸着法によって作製したGa添加ZnO薄膜における構造特性への酸素ガス流量及びGa添加量の効果

著者 (5件):
資料名:
巻: 62nd  ページ: ROMBUNNO.12A-D1-4  発行年: 2015年02月26日 
JST資料番号: Y0054B  ISSN: 2436-7613  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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分類 (1件):
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酸化物薄膜 

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