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J-GLOBAL ID：201502271055830030   整理番号：15A0709240

60GHz帯MEMSスイッチの実装に関する考察

Consideration on Mounting Structure for MEMS Switch at 60 GHz Band

著者 (4件)： 中島健吾 (呉工専) ,  黒木太司 (呉工専) ,  江口正徳 (ファジィシステム研) ,  山川烈 (ファジィシステム研)
資料名： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 115  号： 4(MW2015 1-20)  ページ： 11-14  発行年： 2015年04月09日 
JST資料番号： S0532B  ISSN： 0913-5685  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 高周波スイッチはSiやGaAsなどの半導体を用いて構成されるが,一方でスイッチの損失低下を目的としたRF-MEMSの利用も有望である。そこで,ミリ波帯フェーズドアレイ用移相器を目的としたRF-MEMSスイッチの基礎検討として,今回はMEMSスイッチの製作方法およびMEMSスイッチの実装方法について考察を行った。(著者抄録)

シソーラス用語： *マイクロスイッチ ,  *実装 ,  *周波数帯 ,  ケイ素 ,  ヒ化ガリウム ,  移相器 ,  MEMS ,  導波路 ,  エッチング ,  リード線 ,  フリップチップ法
準シソーラス用語： *MEMSスイッチ ,  RF MEMS ,  *Vバンド ,  シリコン ,  フリップチップ ,  ボンディングワイヤ

分類 (3件)： その他の伝送回路素子  (NC04070U) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  継電器・スイッチ  (NA05060K)

引用文献 (5件)：

• M. Aust, et al., "GaAs monolithic components development for Q-band phased array application", Proceedings of IEEE MTT-S Int. Symp., Vol. 2, pp.703-706 (1992).
• G. M. Rebeiz, "RF MEMS", Wiley Interscience , 2003.
• F. Kuroki and T. Morita, "Consideration on Beam Scanning Antenna Using Vertical Strip Transmission Line Radiator at 60GHz", Proceedings of IEEE Phased Array Conference, pp.246-250 (October, 2013 in Waltham, USA).
• H. Shigesawa and M. Tsuji, "Leaky-wave Phenomena and Their Unfavorable Effect in Millimeter-wave Circuit Devices", Proceedings of APMC2001, pp. 53-58, (2001, Taipei, Taiwan)
• 黒木太司,中島健吾,"RF-MEMS実装用地板付コプレーナ線路の考察",電子情報通信学会ソサイエティ大会,C-2-38(2014年9月,徳島)

タイトルに関連する用語 (2件)： MEMSスイッチ ,  実装