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J-GLOBAL ID:201502297432228225   整理番号:15A0742199

有機・無機ハイブリッドをバインダとする電着法によるアルミナコーティング技術

Electrophoretic deposition of Al2O3 coatings on metal substrates using polydimethylsiloxane-based organic-inorganic hybrid materials as binders
著者 (1件):
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巻: DEI-15  号: 50-56  ページ: 25-27  発行年: 2015年05月14日 
JST資料番号: Z0908B  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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本研究では,電着法(EPD)により基板金属に電着膜を成膜する際,熱膨張の差により膜の剥離やクラックが生じるのを防止するために,ポリジメチルシロキサン(PDMS)ベースの有機・無機ハイブリッド材料をバインダとして用いることを提案した。具体的には金属アルミニウム上に,高絶縁・高熱伝導性を有するアルミナ膜を形成した。その結果金属・電着膜間の応力緩和に成功し,クラックフリーで膜強度の大きい電着膜を得ることができた。作製した電着膜は3W/mk以上の熱伝導率と,60kV/mm以上の絶縁破壊電圧を示した。更に長期耐熱試験を300°Cで200時間実施した結果,電着膜にはクラック・剥離が発生せず,熱伝導率・絶縁特性も変化せず,十分な長期耐熱性を有することを確認した。
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分類 (4件):
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固体デバイス製造技術一般  ,  有機けい素化合物  ,  クロマトグラフィー,電気泳動  ,  セラミック・磁器の性質 
タイトルに関連する用語 (5件):
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