赤外線吸収膜およびそれを用いた赤外線検知素子

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出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-206300
公開番号（公開出願番号）：特開2013-068478
特許番号：特許第5821462号
出願日： 2011年09月21日
公開日（公表日）： 2013年04月18日
請求項（抜粋）：

【請求項1】下地層上に形成され、銅(Cu)が主成分である赤外線吸収膜であって、前記赤外線吸収膜の表面形状が葉状で、かつ酸化されており、前記葉状部分は酸化第二銅(CuO)で形成され、膜厚方向において表面から下地層との界面までの領域は酸化第二銅(CuO)、酸化第一銅(Cu2O)、銅(Cu)の混合状態で形成され、さらに前記下地層との界面には密着層が存在し、前記葉状部分から前記下地層との界面にかけてCuの酸化数が減少し、前記下地層との界面付近には酸化していないCuが一部分存在し、前記下地層との界面付近が多孔質であって、前記赤外線吸収膜と前記下地層上の密着層とは部分的に接触しており、前記下地層上の前記密着層と接触している面積が前記赤外線吸収膜全体の面積に対して20パーセント以上であることを特徴する、赤外線吸収膜。

IPC (2件)：

G01J 1/02 ( 200 6.01) , C09K 3/00 ( 200 6.01)

FI (2件)：

G01J 1/02 C , C09K 3/00 105

引用特許：

出願人引用 (3件)

特公昭62-001513
赤外線検出素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-102396 出願人：松下電工株式会社
特公昭61-038783

審査官引用 (3件)

特公昭62-001513
赤外線検出素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-102396 出願人：松下電工株式会社
特公昭61-038783

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