特許
J-GLOBAL ID:201503003834658626
脆性板の熱割断方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
恩田 誠
, 恩田 博宣
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2014-047686
公開番号(公開出願番号):特開2015-171961
出願日: 2014年03月11日
公開日(公表日): 2015年10月01日
要約:
【解決手段】脆性板3の表面3aに加熱縁7及び加熱側押え縁8を当てがうとともに脆性板3の裏面3bに冷却縁14及び冷却側押え縁15を加熱縁7及び加熱側押え縁8に沿って当てがって、表面3a側より低温の裏面3b側と表面3a側との間の温度差により表面3a側の膨張と裏面3b側の圧縮とによって生じる熱応力(引張応力や圧縮応力)が、加熱縁7及び冷却縁14ばかりでなく、加熱側押え縁8及び冷却側押え縁15に集中して、加熱縁7と加熱側押え縁8との間や冷却縁14と冷却側押え縁15との間でギャップGで生じる。その熱応力を原因として発生する曲げモーメントにより、脆性板3が表面3a側から裏面3b側へ向けて熱割断される。【効果】脆性板3における切断縁の直進性をレーザー光による熱割断方法と比較して向上させることができる。【選択図】図1
請求項(抜粋):
脆性板の厚み方向の両面のうち一方の面に加熱縁を当てがうとともに他方の面に冷却縁を加熱縁に沿って当てがって、その一方の面側より低温の他方の面側とその一方の面側との間の温度差で一方の面側の膨張と他方の面側の圧縮とによって生じる熱応力を原因として発生する曲げモーメントにより、脆性板を加熱縁及び冷却縁に沿って一方の面側から他方の面側へ向けて熱割断を行うことを特徴とする脆性板の熱割断方法。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (6件):
3C060AA08
, 3C060CA10
, 4G015FA06
, 4G015FB01
, 4G015FB02
, 4G015FC14
引用特許:
出願人引用 (3件)
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特開平2-092837
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薄い脆性材料の割断方法及び割断装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-116650
出願人:新日本製鐵株式会社
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基板加工装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2012-167759
出願人:三星ダイヤモンド工業株式会社
審査官引用 (3件)
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特開平2-092837
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薄い脆性材料の割断方法及び割断装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-116650
出願人:新日本製鐵株式会社
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基板加工装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2012-167759
出願人:三星ダイヤモンド工業株式会社
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