特許
J-GLOBAL ID:201503020589195331
ウェットエッチング用基板
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (2件):
酒井 一
, 蔵合 正博
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2014-098904
公開番号(公開出願番号):特開2014-208912
特許番号:特許第5782161号
出願日: 2014年05月12日
公開日(公表日): 2014年11月06日
請求項(抜粋):
【請求項1】 基板層、金属酸化物表面を有する金属層、式(I)に示す感紫外線化合物層、および熱可塑性高分子層をこの順で有し、
前記熱可塑性高分子層の熱可塑性高分子が、ポリビニルトルエンであるウェットエッチング用基板。
(式中、R1〜R3は水素原子、炭素数1〜6の炭化水素基、酸素原子または窒素原子で連結された炭素数1〜6の炭化水素基を示す。XはO、OCO、COO、NH、NHCOを示し、mは1〜20の整数を示す。R4は炭素数1〜3の炭化水素基を示し、Yは炭素数1〜3のアルコキシ基またはハロゲン原子を表し、nは1〜3の整数を表す。)
IPC (5件):
C23F 1/00 ( 200 6.01)
, H05K 3/06 ( 200 6.01)
, B32B 15/08 ( 200 6.01)
, B32B 27/30 ( 200 6.01)
, H05K 3/18 ( 200 6.01)
FI (5件):
C23F 1/00 102
, H05K 3/06 H
, B32B 15/08 J
, B32B 27/30 B
, H05K 3/18 G
引用特許:
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