レーザ走査型干渉計及び表面形状の計測方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉村憲司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-109489
公開番号（公開出願番号）：特開2015-017968
出願日： 2014年05月27日
公開日（公表日）： 2015年01月29日
要約：

【課題】レーザ走査型干渉計を用いて、簡単な操作で、かつ、広い面積の測定を短時間で行うことのできる、表面形状の計測方法を提供する。【解決手段】レーザ光源1からのレーザ光を平行光束としてビームスプリッタ4を介して走査ミラー7に導き、走査ミラー7でレーザ光を走査光に変換してテレセントリックfθレンズ8に入射させ、テレセントリックfθレンズ8の焦点面近傍に近接配置した参照平面9a及び被観察面10aからの反射光をテレセントリックfθレンズ8により平行光束に変換し、走査ミラー7で反射させた後にビームスプリッタ4でレーザ光源からのレーザ光と分離し、結像レンズ11によって集光してテレセントリックfθレンズ8の焦点面と共役の位置に設置したピンホール12aを通過させ、ピンホール12aを通過した反射光の光量を受光素子13で計測する表面形状の計測方法であって、参照平面9aを平面ガラス板に金属薄膜を成膜した参照板により構成した。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

レーザ光源と、該レーザ光源からのレーザ光を反射して走査光に変換する走査ミラーと、該走査ミラーからの走査光を参照平面及び被観察面に垂直に照射するとともに、前記参照平面及び被観察面からの反射光を平行光束に変換するテレセントリックfθレンズと、前記反射光の平行光束を集光する結像レンズと、前記結像レンズにより集光されてピンホールを通過した前記反射光の光量を計測する受光素子と、該受光素子で計測した光量から前記被観察面で生じる干渉縞の画像データを作成する演算手段と、を有するレーザ走査干渉計において、前記参照平面を、透明材料基板に金属薄膜を成膜した参照板により構成することを特徴とするレーザ走査干渉計。

IPC (2件)：

G01B 9/02 , G01B 11/24

FI (2件)：

G01B9/02 , G01B11/24 D

Fターム (36件)：

2F064AA09 , 2F064EE05 , 2F064FF01 , 2F064GG12 , 2F064GG22 , 2F064GG38 , 2F064GG47 , 2F064GG62 , 2F064HH01 , 2F064HH05 , 2F064JJ01 , 2F064JJ15 , 2F064KK01 , 2F065AA51 , 2F065AA52 , 2F065AA53 , 2F065DD06 , 2F065FF04 , 2F065FF52 , 2F065FF61 , 2F065GG04 , 2F065HH03 , 2F065HH13 , 2F065JJ01 , 2F065JJ09 , 2F065JJ17 , 2F065LL04 , 2F065LL10 , 2F065LL30 , 2F065LL36 , 2F065LL46 , 2F065LL59 , 2F065LL62 , 2F065QQ16 , 2F065QQ29 , 2F065QQ31

引用特許：

出願人引用 (5件)

干渉計用基準板装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-253250 出願人：富士写真光機株式会社
レーザ走査干渉計
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-158236 出願人：株式会社オプセル
特開昭58-184902

全件表示

審査官引用 (5件)

干渉計用基準板装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-253250 出願人：富士写真光機株式会社
レーザ走査干渉計
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-158236 出願人：株式会社オプセル
特開昭58-184902

全件表示

前のページに戻る